138901 / 2014-06-27 - Inny: Instytut naukowo-badawczy / Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk (Warszawa)

Numer biuletynu: 1

Pozycja w biuletynie: 138901

Data publikacji: 2014-06-27

Nazwa: Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk

Ulica: al. Lotników 32/46

Numer domu: 32/46

Miejscowość: Warszawa

Kod pocztowy: 02-668

Województwo / kraj: mazowieckie

Numer telefonu: +48 22 116 3535

Numer faxu: +48 22 847 00 82

Regon: 00032606100000

Typ ogłoszenia: ZP-408

Rodzaj zamawiającego: Inny: Instytut naukowo-badawczy

Inny rodzaj zamawiającego: Instytut naukowo-badawczy

Nazwa nadana zamówieniu przez zamawiającego:
DZPIE/016/2014 - Aparatura do rozbudowy reaktora osadzania warstw atomowych

Rodzaj zamówienia: D

Przedmiot zamówienia:
Przedmiotem zamówienia jest dostawa fabrycznie nowych, kompatybilnych z reaktorem ALD Savannah 100 części aparatury takich jak: ALD Booster, powiększona pokrywa komory procesowej, generator ozonu, kontroler E-box do reaktora , kaseta załadowcza do podłoży, komora rękawicowa do reaktora

Kody CPV:
385000000 (Aparatura kontrolna i badawcza)

szacunkowa_wart_zam: Nie

Kod trybu postepowania: WR

zamowienie_pprawna_hid: c;

zamowienie_pprawna: art. 67 ust. 1 pkt 1 lit. a

zamowienie_uzasadnienie:
Zakup aparatury umożliwiający rozbudowę reaktora osadzania warstw atomowych (ang. Atomic Layer Deposition, ALD) Savannah 100 (S100) z firmy Ultratech/Cambridge NanoTech. Planowane zakup zawiera ALD Booster S100, Savannah Generator Ozonu, kontroler E-box do reaktora Savannah S100, powiększoną pokrywę komory procesowej wraz z kasetą załadowczą do podłoży oraz komorę rękawicowa do reaktora S100.
Taka rozbudowa reaktora ALD S100 jest konieczna, aby usprawnić procesy wzrostu warstw tlenkowych będących przedmiotem projektu oraz umożliwić realizację merytorycznych założeń projektu. Wzrost wysokiej jakości warstw tlenkowych (ZnO, AbOs, HfOz oraz ZrOz) metodą ALD w reaktorze S100 stanowi główny element bezpośrednio wpływający na realizację projektu.
Firma Ultratech/Cambridge NanoTech jest jedynym na świecie producentem reaktorów Savannah 100 wraz z doposażeniem. Firma COMEF (Aparatura Naukowo-Badawcza) jako jedyna reprezentuje w Polsce Ultratech/Cambridge NanoTech i może pośredniczyć w wyżej opisanej rozbudowie reaktora.

Nazwa wykonawcy: COMEF Aparatura Naukowo-Badawcza

Adres pocztowy wykonawcy: ul. Gdańska 2

Miejscowość: Katowice

Kod pocztowy: 40-719

ID województwa: 11

Województwo / kraj: śląskie

Podobne przetargi