250182 / 2012-07-13 - Inny: instytut naukowy / Instytut Fizyki Molekularnej PAN (Poznań)

Dostawa urządzeń stanowiących część wyposażenia dla laboratorium litografii elektronowej

Opis zamówienia

Wymagania techniczne

Zadanie nr 1

Depozytor rotacyjny (spin coater)
Wymagania:
1. Wyposażony w µ-kontroler oraz dotykowy panel operacyjny.
2. Parametry użytkowe urządzenia:
a) zapisywanie procedur - nie mniej niż 40,
b) liczba kroków w jednej procedurze - nie mniej niż 20,
c) regulowana prędkość wirowania, przyspieszenia oraz czasu,
d) maksymalna prędkość wirowania nie mniejsza niż 10000 rpm z dokładnością ± 1 rpm,
e) alarm akustyczny sygnalizujący koniec procedury.
f) Zagwarantowana łatwość czyszczenia depozytora np. poprzez wymienne wkłady z tworzywa.
3. Próżniowe mocowanie substratu (odpowiedni układ próżniowy zintegrowany z urządzeniem).
4. Urządzenie wyposażone w uchwyty pozwalający na montowanie podłoży o rozmiarach od 3x3 mm do 2 cali.
5. Gwarancja minimum 12 miesięcy

Zadanie Nr 2

Płyta grzejna (hot plate)
Wymagania:
1. Cyfrowy kontroler temperatury
2. Zakres temperatur od 25 do 250oC (dokładność +/- 1oC przy 100oC)
3. Próżniowe mocowanie podłoży (pompa zintegrowana z urządzeniem)
4. Rozmiar podłoży do 150 mm, grubość do 5 mm
5. Gwarancja minimum 12 miesięcy

Zadanie Nr 3

Profilometr kontaktowy
Wymagania:
Przyrząd powinien umożliwiać rejestrowanie i analizę dwu- i trój-wymiarowych profili powierzchni z rozdzielczością w kierunku pionowym na poziomie nie większym niż 0.1 nm i powtarzalności w pomiarach uskoku na poziomie nie gorszym niż 0.6 nm.
W tym celu powinien być wyposażony w odpowiedni komputer (z systemem Windows 7) z monitorem (23 cale, rozdzielczość 1920 x 1080) i oprogramowaniem pozwalającym na:
-.składanie profili
- wizualizację trójwymiarowych map w trakcie ich rejestrowania,
- wyznaczanie naprężeń,
- automatyczne zbieranie profili w różnych miejscach preparatu oraz ich wszechstronną analizę.
Wszystkie elementy urządzenia powinny być dostosowane do zasilania z ogólnie dostępnej sieci elektrycznej.
Obserwacja próbki przy pomocy kolorowej kamery CCD z regulowanym powiększeniem powinna pozwalać na uzyskanie pola widzenia w zakresie od maksimum 1 mm do minimum 4 mm.
Siła nacisku powinna być regulowana w zakresie od maksymalnie 0.05 mg do minimalnie 15 mg, dla zakresu pomiarowego w osi Z wynoszącego 1 mm przy pomocy jednej głowicy pomiarowej.
Wymiana końcówek pomiarowych powinna się odbywać za pomocą uchwytów pozwalających na szybką wymianę końcówek.
Urządzenie powinno być wyposażone w:
- Zmotoryzowany stolik (lub zestaw stolików) X/Y o zakresie przesuwu nie mniejszym niż 100 x 100 mm, pozwalający na pomiar próbek o grubości do 50 mm, średnicy od 4 do 6 cali, w tym również bardzo małych próbek np. o wymiarach 5 x 5 mm, wymagane jest zapewnienie możliwości próżniowego mocowania próbek (odpowiednia pompa dołączona do zestawu).
- Optycznie gładka podstawa pomiarowa o zakresie skanowania nie mniejszym niż 50 mm.
- Automatyczna kompensacja nachylenia preparatu.
- Cztery różne typy końcówek pomiarowych (optymalnie o promieniach: 50 nm, 0.2 mm, 0.7 mm, 2 mm).
- Próbki kalibracyjne o grubościach: 900 mm i 88 nm.
- Standard płaskości SiC (flatness standard, D około 30mm, roughness <= 0,5 nm RMS, flatness < Lambda /50)
- Stół antywibracyjny z kompresorem
- Osłonę akustyczną
- Zakres pomiarowy w osi Z do 1 mm

Numer biuletynu: 1

Pozycja w biuletynie: 250182

Data publikacji: 2012-07-13

Nazwa: Instytut Fizyki Molekularnej PAN

Ulica: ul. Mariana Smoluchowskiego 17

Numer domu: 17

Miejscowość: Poznań

Kod pocztowy: 60-179

Województwo / kraj: wielkopolskie

Numer telefonu: 061 8695100

Numer faxu: 061 8684524

Adres strony internetowej: www.ifmpan.poznan.pl

Regon: 00055799000000

Typ ogłoszenia: ZP-400

Czy jest obowiązek publikacji w biuletynie: Tak

Ogłoszenie dotyczy: 1

Rodzaj zamawiającego: Inny: instytut naukowy

Inny rodzaj zamawiającego: instytut naukowy

Nazwa nadana zamówieniu przez zamawiającego:
Dostawa urządzeń stanowiących część wyposażenia dla laboratorium litografii elektronowej

Rodzaj zamówienia: D

Przedmiot zamówienia:
Wymagania techniczne

Zadanie nr 1

Depozytor rotacyjny (spin coater)
Wymagania:
1. Wyposażony w µ-kontroler oraz dotykowy panel operacyjny.
2. Parametry użytkowe urządzenia:
a) zapisywanie procedur - nie mniej niż 40,
b) liczba kroków w jednej procedurze - nie mniej niż 20,
c) regulowana prędkość wirowania, przyspieszenia oraz czasu,
d) maksymalna prędkość wirowania nie mniejsza niż 10000 rpm z dokładnością ± 1 rpm,
e) alarm akustyczny sygnalizujący koniec procedury.
f) Zagwarantowana łatwość czyszczenia depozytora np. poprzez wymienne wkłady z tworzywa.
3. Próżniowe mocowanie substratu (odpowiedni układ próżniowy zintegrowany z urządzeniem).
4. Urządzenie wyposażone w uchwyty pozwalający na montowanie podłoży o rozmiarach od 3x3 mm do 2 cali.
5. Gwarancja minimum 12 miesięcy

Zadanie Nr 2

Płyta grzejna (hot plate)
Wymagania:
1. Cyfrowy kontroler temperatury
2. Zakres temperatur od 25 do 250oC (dokładność +/- 1oC przy 100oC)
3. Próżniowe mocowanie podłoży (pompa zintegrowana z urządzeniem)
4. Rozmiar podłoży do 150 mm, grubość do 5 mm
5. Gwarancja minimum 12 miesięcy

Zadanie Nr 3

Profilometr kontaktowy
Wymagania:
Przyrząd powinien umożliwiać rejestrowanie i analizę dwu- i trój-wymiarowych profili powierzchni z rozdzielczością w kierunku pionowym na poziomie nie większym niż 0.1 nm i powtarzalności w pomiarach uskoku na poziomie nie gorszym niż 0.6 nm.
W tym celu powinien być wyposażony w odpowiedni komputer (z systemem Windows 7) z monitorem (23 cale, rozdzielczość 1920 x 1080) i oprogramowaniem pozwalającym na:
-.składanie profili
- wizualizację trójwymiarowych map w trakcie ich rejestrowania,
- wyznaczanie naprężeń,
- automatyczne zbieranie profili w różnych miejscach preparatu oraz ich wszechstronną analizę.
Wszystkie elementy urządzenia powinny być dostosowane do zasilania z ogólnie dostępnej sieci elektrycznej.
Obserwacja próbki przy pomocy kolorowej kamery CCD z regulowanym powiększeniem powinna pozwalać na uzyskanie pola widzenia w zakresie od maksimum 1 mm do minimum 4 mm.
Siła nacisku powinna być regulowana w zakresie od maksymalnie 0.05 mg do minimalnie 15 mg, dla zakresu pomiarowego w osi Z wynoszącego 1 mm przy pomocy jednej głowicy pomiarowej.
Wymiana końcówek pomiarowych powinna się odbywać za pomocą uchwytów pozwalających na szybką wymianę końcówek.
Urządzenie powinno być wyposażone w:
- Zmotoryzowany stolik (lub zestaw stolików) X/Y o zakresie przesuwu nie mniejszym niż 100 x 100 mm, pozwalający na pomiar próbek o grubości do 50 mm, średnicy od 4 do 6 cali, w tym również bardzo małych próbek np. o wymiarach 5 x 5 mm, wymagane jest zapewnienie możliwości próżniowego mocowania próbek (odpowiednia pompa dołączona do zestawu).
- Optycznie gładka podstawa pomiarowa o zakresie skanowania nie mniejszym niż 50 mm.
- Automatyczna kompensacja nachylenia preparatu.
- Cztery różne typy końcówek pomiarowych (optymalnie o promieniach: 50 nm, 0.2 mm, 0.7 mm, 2 mm).
- Próbki kalibracyjne o grubościach: 900 mm i 88 nm.
- Standard płaskości SiC (flatness standard, D około 30mm, roughness <= 0,5 nm RMS, flatness < Lambda /50)
- Stół antywibracyjny z kompresorem
- Osłonę akustyczną
- Zakres pomiarowy w osi Z do 1 mm

Czy zamówienie jest podzielone na części: Tak

Ilość części: 3

Czy dopuszcza się złożenie oferty wariantowej: Tak

Czy przewiduje się udzielenie zamówień uzupełniających: Tak

Określenie zamówień uzupełniających:
Zamawiający przewiduje możliwość udzielania zamówień uzupełniających na zasadach określonych w art. 67 ust. 1 pkt 7) Prawa zamówień publicznych

Czas: D

Data zakończenia: 30/11/2012

Informacja na temat wadium: nie przewiduje się wadium

Zaliczka: Nie

Uprawnienia:
Na podstawie oświadczenia i załączonego odpowiedniego dokumentu

Wiedza i doświadczenie: Na podstawie oświadczenia

Potencjał techniczny: Na podstawie oświadczenia

Osoby zdolne do zrealizowania zamówienia: Na podstawie oświadczenia

Sytuacja ekonomiczna: Na podstawie oświadczenia

Oświadczenie wykluczenia nr 1: Tak

Oświadczenie wykluczenia nr 2: Tak

Dokumenty podmiotów zagranicznych: Tak

Dokumenty podmiotów zagranicznych: Tak

Dokumenty podmiotów zagranicznych: Tak

Dokumenty podmiotów zagranicznych: Tak

III.7 osoby niepełnosprawne: Nie

Kod trybu postepowania: PN

Czy zmiana umowy: Nie

Kod kryterium cenowe: B

Znaczenie kryterium 1: 88

Nazwa kryterium 2: Okres gwarancji

Znaczenie kryterium 2: 12

Czy wykorzystywana będzie aukcja: Nie

Adres strony internetowej specyfikacji i warunków zamówienia: www.ifmpan.poznan.pl

Adres uzyskania specyfikacji i warunków zamówienia: www.ifmpan.poznan.pl

Data składania wniosków, ofert: 05/09/2012

Godzina składania wniosków, ofert: 11:00

Miejsce składania:
Instytut Fizyki Molekularnej PAN; 60-179 Poznań; ul. M.Smoluchowskiego 17 pok.116 lub 119

On: D

Termin związania ofertą, data do: 05/10/2012

Czy unieważnienie postępowania: Nie

Kody CPV:
385400002 (Maszyny i aparatura badawcza i pomiarowa)

Podobne przetargi