66088 / 2011-04-05 - Podmiot prawa publicznego / Instytut Technologii Elektronowej (Warszawa)

Oryginalny toner 040c (0458C001) Niebieski marki Canon

Cena: 787.20 PLN

Adaptacja i rozbudowa instalacji mediów - wykonanie instalacji lokalnej azotu, tlenu, wodoru, sprężonego powietrza i gazów specjalnych

Opis zamówienia

Przedmiotem zamówienia jest wykonanie instalacji lokalnej azotu, tlenu, wodoru, sprężonego powietrza i gazów specjalnych w Laboratorium MINTE Instytutu Technologii Elektronowej Oddział w Piasecznie, ul. Puławska 34.
Wykonanie ww. instalacji będzie polegało na:
1. Dostawie materiałów określonych w przedmiarze robót.
2. Wykonaniu w szafach gazowych instalacji:
- 5% mieszanki silanu w argonie (5% SiH4-Ar),
- amoniaku (NH3),
- podtlenku azotu (N2O),
- bromowodoru (HBr),
- czterochlorku krzemu (SiCl4).
3. Wykonaniu w szafach gazowych instalacji azotu do układów płukania, oraz instalacji wylotowej z układów płukania.
4. Wykonaniu instalacji bromowodoru (HBr), chloru (Cl2), trójchlorku boru (BCl3), czterochlorku krzemu (SiCl4), tetrafluorometanu (CF4), trójfluorometanu (CHF3), sześciofluorku siarki (SF6), tlenu (O2), argonu (Ar), helu (He) i oktafluorocyklobutanu (C4F8) od szaf gazowych do reaktorów do trawienia plazmowego (klaster reaktorów RIE, dwa reaktory ICP) w pomieszczeniu Plazm.
5. Wykonaniu instalacji CF4 i O2 do jednego z reaktorów do usuwania emulsji fotolitograficznej oraz O2 do drugiego z nich; instalacja CF4 z szafy gazowej, instalacja O2 z piętra instalacyjnego.
6. Wykonaniu instalacji 5% SiH4-Ar, NH3, N2O, CH4, Ar, od szaf gazowych do reaktora do osadzania PECVD.
7. Wykonaniu instalacji N2 i sprężonego powietrza z piętra instalacyjnego do reaktorów wymienionych w punktach 3, 4 i 5.
8. Wykonaniu instalacji N2 i sprężonego powietrza z piętra instalacyjnego do pomieszczeń Plazm.
9. Wykonaniu helowego testu szczelności dla instalacji azotu, tlenu i gazów specjalnych (5%SiH4-Ar, Ar, SiCl4, NH3, N2O, HBr, CF4, CHF3, CH4, SF6, Cl2, BCl3, C4F8). Złącza nie mogą wykazywać żadnych przecieków przy progu czułości wykrywacza 1 x 10-9 bar cm3-s.
10. Przeprowadzeniu próby szczelności instalacji sprężonego powietrza poprzez 24- godzinną próbę ciśnieniową. Próba powinna być przeprowadzona przy ciśnieniu 15 bar, a spadek ciśnienia po 24 godzinach nie może przekroczyć 0,3 bar.
11. Wykonaniu oznakowania instalacji zgodnie z obowiązującymi przepisami BHP i Ppoż.
12. Wykonaniu oraz dostarczeniu projektu powykonawczego wykonywanej instalacji, zatwierdzonego przez osoby z uprawnieniami BHP i Ppoż.
Instalacja musi być łączona złączkami typu VCR i Swagelok, oraz poprzez automatyczne spawanie orbitalne w atmosferze ochronnej i wykonana zgodnie ze schematami gazów technicznych. Nie jest dopuszczone gięcie rurek.
Zamawiający zapewnia materiały do wykonania przedmiotu zamówienia. Wykaz posiadanych przez zamawiającego materiałów stanowi załącznik do siwz.

Numer biuletynu: 1

Pozycja w biuletynie: 66088

Data publikacji: 2011-04-05

Nazwa: Instytut Technologii Elektronowej

Ulica: Al. Lotników 32/46

Numer domu: 32/46

Miejscowość: Warszawa

Kod pocztowy: 02-668

Województwo / kraj: mazowieckie

Numer telefonu: 022 5487700

Numer faxu: 022 8470631

Adres strony internetowej: www.ite.waw.pl

Regon: 00003897100000

Typ ogłoszenia: ZP-400

Czy jest obowiązek publikacji w biuletynie: Tak

Ogłoszenie dotyczy: 1

Rodzaj zamawiającego: Podmiot prawa publicznego

Nazwa nadana zamówieniu przez zamawiającego:
Adaptacja i rozbudowa instalacji mediów - wykonanie instalacji lokalnej azotu, tlenu, wodoru, sprężonego powietrza i gazów specjalnych

Rodzaj zamówienia: B

Przedmiot zamówienia:
Przedmiotem zamówienia jest wykonanie instalacji lokalnej azotu, tlenu, wodoru, sprężonego powietrza i gazów specjalnych w Laboratorium MINTE Instytutu Technologii Elektronowej Oddział w Piasecznie, ul. Puławska 34.
Wykonanie ww. instalacji będzie polegało na:
1. Dostawie materiałów określonych w przedmiarze robót.
2. Wykonaniu w szafach gazowych instalacji:
- 5% mieszanki silanu w argonie (5% SiH4-Ar),
- amoniaku (NH3),
- podtlenku azotu (N2O),
- bromowodoru (HBr),
- czterochlorku krzemu (SiCl4).
3. Wykonaniu w szafach gazowych instalacji azotu do układów płukania, oraz instalacji wylotowej z układów płukania.
4. Wykonaniu instalacji bromowodoru (HBr), chloru (Cl2), trójchlorku boru (BCl3), czterochlorku krzemu (SiCl4), tetrafluorometanu (CF4), trójfluorometanu (CHF3), sześciofluorku siarki (SF6), tlenu (O2), argonu (Ar), helu (He) i oktafluorocyklobutanu (C4F8) od szaf gazowych do reaktorów do trawienia plazmowego (klaster reaktorów RIE, dwa reaktory ICP) w pomieszczeniu Plazm.
5. Wykonaniu instalacji CF4 i O2 do jednego z reaktorów do usuwania emulsji fotolitograficznej oraz O2 do drugiego z nich; instalacja CF4 z szafy gazowej, instalacja O2 z piętra instalacyjnego.
6. Wykonaniu instalacji 5% SiH4-Ar, NH3, N2O, CH4, Ar, od szaf gazowych do reaktora do osadzania PECVD.
7. Wykonaniu instalacji N2 i sprężonego powietrza z piętra instalacyjnego do reaktorów wymienionych w punktach 3, 4 i 5.
8. Wykonaniu instalacji N2 i sprężonego powietrza z piętra instalacyjnego do pomieszczeń Plazm.
9. Wykonaniu helowego testu szczelności dla instalacji azotu, tlenu i gazów specjalnych (5%SiH4-Ar, Ar, SiCl4, NH3, N2O, HBr, CF4, CHF3, CH4, SF6, Cl2, BCl3, C4F8). Złącza nie mogą wykazywać żadnych przecieków przy progu czułości wykrywacza 1 x 10-9 bar cm3-s.
10. Przeprowadzeniu próby szczelności instalacji sprężonego powietrza poprzez 24- godzinną próbę ciśnieniową. Próba powinna być przeprowadzona przy ciśnieniu 15 bar, a spadek ciśnienia po 24 godzinach nie może przekroczyć 0,3 bar.
11. Wykonaniu oznakowania instalacji zgodnie z obowiązującymi przepisami BHP i Ppoż.
12. Wykonaniu oraz dostarczeniu projektu powykonawczego wykonywanej instalacji, zatwierdzonego przez osoby z uprawnieniami BHP i Ppoż.
Instalacja musi być łączona złączkami typu VCR i Swagelok, oraz poprzez automatyczne spawanie orbitalne w atmosferze ochronnej i wykonana zgodnie ze schematami gazów technicznych. Nie jest dopuszczone gięcie rurek.
Zamawiający zapewnia materiały do wykonania przedmiotu zamówienia. Wykaz posiadanych przez zamawiającego materiałów stanowi załącznik do siwz.

Kody CPV:
453330000 (Roboty instalacyjne gazowe)

Kod CPV drugiej częsci zamówienia:
453331001 (Instalowanie urządzeń regulacji gazu)

Czy zamówienie jest podzielone na części: Nie

Czy dopuszcza się złożenie oferty wariantowej: Nie

Czy przewiduje się udzielenie zamówień uzupełniających: Nie

Czas: O

Okres trwania zamówienia w dniach: 56

Zaliczka: Nie

Wiedza i doświadczenie:
Wykaz robót - wykażą, że wykonali co najmniej 2 instalacje przeznaczone do zastosowań mikroelektronicznych wykonanych w technologii zgodnej z przedmiotem zamówienia (spawanie orbitalne elektropolerowanych rurek ze stali nierdzewnej), w pomieszczeniach o podwyższonej klasie czystości - co najmniej 10 000 wg normy FSD, wykonanych w okresie ostatnich pięciu lat przed upływem terminu składania ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy - w tym okresie, z podaniem ich rodzaju i wartości, daty i miejsca wykonania oraz załączeniem dokumentu potwierdzającego, że roboty zostały wykonane zgodnie z zasadami sztuki budowlanej i prawidłowo ukończone. Ocena spełniania warunku zostanie dokonana wg formuły spełnia - nie spełnia

Oświadczenie nr 2: Tak

Oświadczenie wykluczenia nr 1: Tak

III.7 osoby niepełnosprawne: Nie

Kod trybu postepowania: PN

Czy zmiana umowy: Tak

Zmiana umowy:
Zamawiający zastrzega sobie prawo do przedłużenia terminu realizacji umowy z przyczyn organizacyjnych lub technicznych leżących jedynie po stronie zamawiającego.

Kod kryterium cenowe: A

Czy wykorzystywana będzie aukcja: Nie

Adres strony internetowej specyfikacji i warunków zamówienia: www.ite.waw.pl

Adres uzyskania specyfikacji i warunków zamówienia:
Instytut Technologii Elektronowej, Al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa, budynek nr VI, pokój 216

Data składania wniosków, ofert: 20/04/2011

Godzina składania wniosków, ofert: 10:00

Miejsce składania:
Instytut Technologii Elektronowej, Al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa, budynek nr VI, pokój 216

On: O

Termin związania ofertą, liczba dni: 30

Informacje dodatkowe:
Projekt POIG nr 02.01.00-14-081/09-00 pt. Mikrosystemy i NanoTechnologie Elektroniczne dla Innowacyjnej Gospodarki MINTE

Czy unieważnienie postępowania: Nie

Podobne przetargi